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直线电机 |
直线电机 HIWIN上银晶圆移载系统上银HIWIN晶圆移载系统 EFEM(Equipment Front End Module)
灵活定制--实时监控-- 洁净无尘-- 智能调控
产品特色
HIWIN上银晶圆移载系统(EFEM)是完整的自动化系统,HIWIN上银透过垂直整合,搭配自行研发之控制系统,
能弹性选配WaferID读取、晶舟盒RFID感应、晶圆寻边校正、凸片检知、站点在席感测等周边配件进行规划,
并依产品规格搭配对应款式之晶圆机器人,有效针对不同制程及应用的客户,提供客制化的服务,使客户的设备和制程更有效率及竞争力。
产品结构
晶圆移载系统(晶圆机器人+晶圆装卸机+晶圆寻边器+上银直线电机模组&单轴机器人)
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产品优势
1:品质可控 品控更严
80%设备零件在地供应,生产流程透明可控,品质标准稳定一致,质量有保证
2:客制设备,交期更快
在地物料生产供应链快速响应,定制需求沟通更高效,大幅缩短交期,交付更准时
3:在地制造,提升竞争
快速对应市场突发需求变化,灵活整合能量,发挥在地优势
4:售后便捷,服务更稳
在地团队就近支持,配件库存充足,售后响应更快,问题解决更放心
产业应用
半导体产业
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光学检测设备
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LED产业
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PCB产业
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联系我们
电话:135-2795-3137 吴女士
邮箱:wuhaizhen.baijia@qq.com
网址:www.dyhiwin.com
公司:东莞市百家智能科技有限公司
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半导体产业
光学检测设备
品质可控 品控更严
80%设备零件在地供应,生产流程透明可控,品质标准稳定一致,质量有保证
客制设备,交期更快
在地物料生产供应链快速响应,定制需求沟通更高效,大幅缩短交期,交付更准时
在地制造,提升竞争
快速对应市场突发需求变化,灵活整合能量,发挥在地优势
售后便捷,服务更稳
在地团队就近支持,配件库存充足,售后响应更快,问题解决更放心
HIWIN晶圆移载系统(EFEM)是完整的自动化系统,
HIWIN透过垂直整合,搭配自行研发之控制系统,能弹性选配WaferID读取、晶舟盒RFID感应、晶圆寻边校正、凸片检知、站点在席感测等周边配件进行规划,并依产品规格搭配对应款式之晶圆机器人,有效针对不同制程及应用的客户,提供客制化的服务,使客户的设备和制程更有效率及竞争力。 相关信息 |






