直线电机

HIWIN 上银MD-ZT多维度定位平台

HIWIN上银 MD-ZT 多维度定位平台精准稳定为检测而生

产品优势

1：高动态运动，提升检测效率纳米级稳定度

2：适用高阶检测一体化轻薄设计，易于导入设备

3：多维自由度，整体高度仅 90 mm,适用平面、角度调整

产品特性

行程： Z:±2 mm, lift Z: 12 mm, Rx/Ry: ±0.08°，0:364°

整体总高度： H: 90 mm

位置稳定度： Z:±3 nm,0: ±0.03 arc-sec

整定时间： Z: 100 μm @±50 nm in 60 ms / θ: 1° @ ±40 μdeg in 70 ms

负载： 3 KG

产品应用

半导体光学检测

关键尺寸量测

迭对量测

薄膜厚度量测

表面轮廓、形貌量测

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